詳細介紹 特點 產(chǎn)品，穩(wěn)定性好，性價比高，也可用于搬運托盤 機械手臂標準臂長：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm Z軸（升降軸）標準長度：20 mm，40 mm 可搬運重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準2kgf以下（臂長160 mm，260 mm，330 mm） 手臂第3關(guān)節(jié)處基準3 kgf以下（臂長190 mm） 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置 真空密封：磁流體密封及波紋管 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級過濾器 配備動作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用2相步進電機 S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 可以選配伺服電機規(guī)格 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優(yōu)選的手指 應用設備實例 PE-CVD設備；刻蝕設備；高溫PVD設備 規(guī)格 被搬運物 ?300 mm晶圓 手臂 旋轉(zhuǎn) 升降 可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準） 520 mm 330度 40 mm 搬運速度 (平均速度)* 300 mm/sec 120度/sec 20 mm/sec 搬運速度 (速度)* 550 mm/sec 170度/sec 30 mm/sec 精度* 82 µm 0.009度 1.25 µm 搬運高度* 98 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度） 重復性精度 ±0.1 mm以內(nèi) 潔凈度 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置 耐真空度 1.33×10-6Pa 廠務 電源：DC24V±10% 8A *測試機型：SVCR3260-040-PM（步進電機規(guī)格）(中具有代表性的標準品)
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