詳細介紹 特點 擁有適應各種不同設備布局的優(yōu)點，采用動力強勁的伺服電機，雙手臂結構，晶圓搬運效率更高，可使用AC200伏電壓 機械手臂標準臂長：210 mm，280 mm 機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210 mm臂長）、或者3個FOUP（280 mm臂長） Z軸（升降軸）標準長度：300 mm 可搬運重量：手臂第3關節(jié)處基準4kgf以下 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 配備動作監(jiān)視器 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 手指材質：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供優(yōu)選的手指 應用設備實例 EFEM；AOI設備 規(guī)格 被搬運物 ?300 mm晶圓 手臂 旋轉 升降 可動范圍* （手臂第3關節(jié)中心基準） 553mm 335度 300 mm 搬運速度 (平均速度)* 833mm/sec 250度/sec 300 mm/sec 搬運速度 (速度)* 1400 mm/sec 350度/sec 450 mm/sec 精度* 0.0011度 0.0011度 1.96µm 搬運高度* 698mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度） 重復性精度 ±0.1 mm以內 潔凈度 ISO標準 Class 2（驅動結構內部獨立排氣條件下） 廠務 電源：単相AC200V±10% 2 kVA真空：優(yōu)于-53 kPa *測試機型：GTCR5280-300-AM，使用JEL標準真空吸附式手指
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