詳細(xì)介紹 一、主要用途 本機(jī)主要通用于硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光。 1、壓力精密控制：PLC+PT+精密減壓所實(shí)現(xiàn)壓力開環(huán)控制; 3、精密傳動(dòng)系統(tǒng)：高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng); 4、下盤支撐：高精度平面流體軸承支撐; 5、銷齒傳動(dòng)內(nèi)外齒采用銷齒傳動(dòng)，延長(zhǎng)載體使用壽命維護(hù)便捷; 6、傳動(dòng)系統(tǒng)：三電機(jī)同步拖動(dòng)，上盤、下盤和齒圈、太陽(yáng)輪(即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)足，縣有配方功能 二、技術(shù)參數(shù) 序號(hào) 項(xiàng)目 規(guī)格參數(shù) 1 上下盤尺寸 Φ640mm×Φ235mm×30mm(研磨) Φ640mm×Φ235mm×30mm(拋光) 2 游星輪 參數(shù) Z=114，DP12，α=20 數(shù)量 5個(gè) 3 驅(qū)動(dòng)電機(jī) 4.0kW AC380V 50Hz 1460rpm(研磨) 5.5kW AC380V 50Hz 1460rpm(拋光) 4 下盤轉(zhuǎn)速 0~60rpm 5 精度指標(biāo) 上、下盤平面度 ≤0.015mm 下盤端跳 ≤0.05mm 6 加工范圍 加工尺寸 Φ150mm 最小加工厚度 0.15mm(≤2"片） 整盤承載量 9×5=45片（2" 圓片） 7 水源 純水或自來(lái)水 8 電源 功率 5.0kW AC380V 50Hz (研磨) 6.5kW AC380V 50Hz (拋光) 線纜規(guī)格 三相五線刮．3×4mm2+2×2.5mm2 9 氣源 壓力 壓縮空氣源0.4-0.5Mpa 接管口徑 接口Φ10mm（外徑） 10 外形尺寸 寬×長(zhǎng)×高：1040mm×1400mm×2360mm 11 重量 約2200Kg
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