技術(shù)文章 淺談光柵式測(cè)微儀 閱讀：868 發(fā)布時(shí)間：2022-9-21 光柵式測(cè)微儀也稱光柵測(cè)微儀、光柵長(zhǎng)度計(jì)或光電測(cè)長(zhǎng)儀，是以光柵副作為測(cè)量元件，將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào)，經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長(zhǎng)度精密測(cè)量?jī)x器（摘自JJF 1682-2017）。光柵式測(cè)微儀是一種接觸式精密傳感器，現(xiàn)在小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例，“圖說”光柵式測(cè)微儀的測(cè)量應(yīng)用和測(cè)量原理。 應(yīng)用之半導(dǎo)體制造工程半導(dǎo)體制造工程示意圖點(diǎn)擊查看大圖 01輥縫檢測(cè)02基板厚度的檢測(cè)03芯片平行度的檢測(cè)04FPD基板的多點(diǎn)檢測(cè) 05測(cè)量壓接端子的鉚合高度06復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測(cè) 應(yīng)用之汽車制造工程汽車生產(chǎn)線示意圖/點(diǎn)擊查看大圖 01汽車凸輪軸的位移量測(cè)量
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