詳細(xì)介紹 項(xiàng) 目 TESA-HITE 400 700 應(yīng)用范圍(mm) 0~415 0~715 允許誤差(um 2.5+4L/1000 重復(fù)性(2σ)(um) 平面上:≤2; 孔內(nèi):≤3 正面垂直度誤差(um) 9 13 分辨率(mm) 0.01/0.001/0.0001 是否帶氣浮 一維測(cè)量帶氣浮,5um以內(nèi)測(cè)垂直度