詳細介紹 項目 TESA MICRO-HITE +M 350 600 900 應(yīng)用范圍（mm) 0~520 0~770 0~1075 允許誤差（um） 1.8+2L/1000（L 為 m） 重復(fù)性（2σ（um） 平面上：≤0.5； 孔內(nèi)：≤1 正面垂直度誤差(um) 7 9 11 使用 IG13 測頭的垂直度誤差 (µm) 正面 : 5 正面 : 7 正面 : 9 側(cè)面 : 5 側(cè)面 : 7 側(cè)面 : 9 分辨率（mm） 0.01/0.001/0.0001 是否帶氣浮 二維測量帶氣浮可編程（自動）
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